酸化亜鉛の最先端技術と将来 《普及版》 (新材料・新素材)
目次
第1章 ZnOの基礎データ
1 結晶構造
2 ZnO系混晶の格子定数とバンドギャップ
3 歪と分極
4 電子構造
第2章 単結晶基板と微粒子
1 単結晶基板
2 微粒子(機能材料への応用)
3 微粒子(化粧品への応用)
第3章 薄膜成長
1 単結晶薄膜成長技術
2 多結晶薄膜
3 薄膜成長機構
4 新規薄膜成長法ミストCVD
第4章 透明導電膜
1 液晶ディスプレイ用透明導電膜
2 ZnO系混晶材料を用いた透明導電膜の開発
第5章 発光ダイオード
1 はじめに
2 基板の選択と結晶極性
3 伝導性制御
4 バンドギャップ制御
5 LEDデバイス
6 まとめ
第6章 電子・光デバイス
1 薄膜トランジスタとその応用
2 バイオセンサ
3 紫外線センサ
第7章 電気・光・スピン特性の制御と未来への展開
1 ドーピング制御とその展開
2 電気特性制御:超低抵抗への挑戦
3 電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマプロセス
4 計算機ナノマテリアルデザインによるスピントロニクス